Отрывок: На поверхности пленок отсутствуют грубые дефекты, а края элемента имеют четкий контур (рисунок 2). Поверхностные дефекты определялись методом растровой электронной микроскопии с помощью РЭМ «Quanta 200». Рисунок 1 – График распределения толщин пленок Cr и Сu в месте контакта ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorВоеводина П. А.ru
dc.contributor.authorСоветкина М. А.ru
dc.coverage.spatialтонкопленочные резистивные элементыru
dc.coverage.spatialтонкопленочные технологииru
dc.coverage.spatialповерхностные дефектыru
dc.coverage.spatialсравнительный анализru
dc.coverage.spatialрастровая электронная микроскопияru
dc.coverage.spatialинтерферометры белого светаru
dc.coverage.spatialмагнетронное распылениеru
dc.coverage.spatialконтроль параметровru
dc.creatorВоеводина П. А., Советкина М. А.ru
dc.date.issued2024ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\554817ru
dc.identifier.citationВоеводина, П. А. Исследование параметров тонкопленочных резистивных элементов / П. А. Воеводина, М. А. Советкина // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 283-285.ru
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.). - Текст : электронныйru
dc.titleИсследование параметров тонкопленочных резистивных элементовru
dc.typeTextru
dc.citation.epage285ru
dc.citation.spage283ru
dc.textpartНа поверхности пленок отсутствуют грубые дефекты, а края элемента имеют четкий контур (рисунок 2). Поверхностные дефекты определялись методом растровой электронной микроскопии с помощью РЭМ «Quanta 200». Рисунок 1 – График распределения толщин пленок Cr и Сu в месте контакта ...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903943-20-3_2024-283-285.pdf464.15 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.