Отрывок: В настоящее время математическое моделирование является одним из основных методом исследования нано- и микрообъектов. И существует достаточно большое число моделей, которые описывают образование пористого кремния: модель Беали, Смита, Леманна и другие. В ходе работы будет рассмотрена модель, созданная на базе плат...
Название : | Моделирование процессов электрохимического травления пористого кремния |
Авторы/Редакторы : | Жигаев Д. А. Шишкина Д. А. Шишкин И. А. |
Дата публикации : | 2022 |
Библиографическое описание : | Жигаев, Д. А. Моделирование процессов электрохимического травления пористого кремния / Д. А. Жигаев, Д. А. Шишкина, И. А. Шишкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 149-150. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processov-elektrohimicheskogo-travleniya-poristogo-kremniya-97458 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\481478 |
Ключевые слова: | электрохимическое травление уравнение Нернста-Планка пористый кремний математическое моделирование моделирование электрического поля COMSOL Multiphysics |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-903-943-17-3_2022-149-150.pdf | 198.29 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.