Отрывок: Проводится численное моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры. В результате проведенных чис ленных экспериментов получены следующие результаты: значения нерав номерностей толщины пленки и плотностей границ зерен, полученные из численных экспериментов, колебались, в зависимости от условий роста, от ±14,1% до ±28,85% и от 0,037 до 0,071 соответственно. Удел...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Осипов А. Н. | ru |
dc.contributor.author | Филимонова М. Н. | ru |
dc.coverage.spatial | тонкопленочные структуры | ru |
dc.coverage.spatial | тонкая алюминевая пленка | ru |
dc.coverage.spatial | тонкие пленки алюминия | ru |
dc.coverage.spatial | рост тонких пленок | ru |
dc.coverage.spatial | компьютерное моделирование | ru |
dc.creator | Осипов А. Н., Филимонова М. Н. | ru |
dc.date.issued | 2007 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\534564 | ru |
dc.identifier.citation | Осипов, А. Н. Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры / А. Н. Осипов, М. Н. Филимонова // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 160-162. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. | ru |
dc.title | Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 162 | ru |
dc.citation.spage | 160 | ru |
dc.textpart | Проводится численное моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры. В результате проведенных чис ленных экспериментов получены следующие результаты: значения нерав номерностей толщины пленки и плотностей границ зерен, полученные из численных экспериментов, колебались, в зависимости от условий роста, от ±14,1% до ±28,85% и от 0,037 до 0,071 соответственно. Удел... | - |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-160-162.pdf | 68.71 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.