Отрывок: Данный метод является хорошей альтернативой вакуумно-дуговому или электронно-лучевому испарению, а также гальваническому осаждению. Исходя из результатов работы, можно сделать вывод, что магнетронное получение тонких пленок является весьма перспективным и требует дополнительного изучения в будущем. Например, до сих пор не решена проблема напыления тонких пленок на рельефно-сложные поверхности или не...
Название : | Получение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления |
Авторы/Редакторы : | Жидецкий Н. Д. Советкина М. А. Фомченков С. А. |
Дата публикации : | 2022 |
Библиографическое описание : | Жидецкий, Н. Д. Получение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления / Н. Д. Жидецкий, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 76-78. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-provodyashih-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97420 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\481296 |
Ключевые слова: | тонкие проводящие пленки технологические установки ионная бомбардировка магнитное поле метод магнетронного распыления |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-903-943-17-3_2022-76-78.pdf | 202.36 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.