Отрывок: Экспериментальная часть работы осуществлена с помощью установки магнетронного распыления Каролина Д-12А. Данная вакуумная напылительная система, состоящая из вакуумного поста и стойки управлен...
Название : | Получение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления |
Авторы/Редакторы : | Ширина В. А. Советкина М. А. Фомченков С. А. |
Дата публикации : | 2022 |
Библиографическое описание : | Ширина, В. А. Получение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления / В. А. Ширина, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 80-81. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-rezistivnyh-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97422 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\481313 |
Ключевые слова: | технологические установки тонкопленочные резисторы тонкие пленки распыление мишени пленочные резистивные материалы ионная бомбардировка магнитное поле магнетронные распылительные системы метод магнетронного распыления |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-903-943-17-3_2022-80-81.pdf | 343.98 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.