Отрывок: За стадией травления следует стадия пассивации. Плазма создается из газа C4F8. Ионы C4F8 образуют полимер, который осаждается на поверхности образца. Этот полимер не реагирует с плазмой травления и обеспечивает защиту от дальнейшего травления для кремния, который находится под ним. Ионы под действием электрического поля выбивают полимер с поверхности, удаляя его только на дне канавки, ...
Название : Синтез кремниевых нитевидных нанокристаллов с помощью процесса плазмохимического травления для приложений фотовольтаики
Авторы/Редакторы : Мокшин, П.В.
Ключевые слова : Нанокристаллы
Плазмохимическое травление
Дата публикации : Май-2019
Издательство : ООО "АРТЕЛЬ"
Библиографическое описание : Мокшин, П.В. Синтез кремниевых нитевидных нанокристаллов с помощью процесса плазмохимического травления для приложений фотовольтаики / П.В. Мокшин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций: материалы Всероссийской научно-технической конференции (г. Самара, 14-16 мая 2019 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева, под. ред. А. И. Данилина - Самара : ООО «АРТЕЛЬ», 2019. – С. 145-147.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Sintez-kremnievyh-nitevidnyh-nanokristallov-s-pomoshu-processa-plazmohimicheskogo-travleniya-dlya-prilozhenii-fotovoltaiki-77424
ISBN : 978-5-903-943-11-1
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20190613\77424
УДК: 62-932.4
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
145-147.pdfСинтез кремниевых нитевидных нанокристаллов с помощью процесса плазмохимического травления для приложений фотовольтаики216.99 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.