Отрывок: А.Коледов. - М.: Радио и связь, 1989. - 400 с. 3. Сорокин, А.Р. Открытый разряд: структура, развитие, роль фотоэмиссии [Текст] / А.Р.Сорокин //Журнал технической физики. - 1998. - Т.68. - №3. - С.33-38. 4. Сорокин, А.Р. Формирование электронных пучков в открытом разряде [Текст] / А.Р.Сорокин // Письма в Журнал технической физики, - 2000. - Т.26. - Вып.24.-С.89-93. 5. Сорокин. А.Р. Барьерный открытый разряд атмосферного давления [Текст] / А.Р.Сорокин // Письма в Журнал технической физи...
Название : | Влияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда |
Авторы/Редакторы : | Паранин В. Д. |
Дата публикации : | 2009 |
Библиографическое описание : | Паранин, В. Д. Влияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда / В. Д. Паранин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 212-217. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Vliyanie-nelineinosti-teplofizicheskih-harakteristik-materiala-na-temperaturu-rabochei-poverhnosti-podlozhki-pri-obrabotke-v-plazme-otkrytogo-razryada-110729 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\559423 |
Ключевые слова: | материал подложки нелинейность теплофизических характеристик обработка газоразрядной плазмой равномерность обработки температура рабочих поверхностей |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-0672-8_2009-212-217.pdf | 290.82 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.