Отрывок: А.Коледов. - М.: Радио и связь, 1989. - 400 с. 3. Сорокин, А.Р. Открытый разряд: структура, развитие, роль фотоэмиссии [Текст] / А.Р.Сорокин //Журнал технической физики. - 1998. - Т.68. - №3. - С.33-38. 4. Сорокин, А.Р. Формирование электронных пучков в открытом разряде [Текст] / А.Р.Сорокин // Письма в Журнал технической физики, - 2000. - Т.26. - Вып.24.-С.89-93. 5. Сорокин. А.Р. Барьерный открытый разряд атмосферного давления [Текст] / А.Р.Сорокин // Письма в Журнал технической физи...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorПаранин В. Д.ru
dc.coverage.spatialматериал подложкиru
dc.coverage.spatialнелинейность теплофизических характеристикru
dc.coverage.spatialобработка газоразрядной плазмойru
dc.coverage.spatialравномерность обработкиru
dc.coverage.spatialтемпература рабочих поверхностейru
dc.creatorПаранин В. Д.ru
dc.date.accessioned2024-09-03 11:26:15-
dc.date.available2024-09-03 11:26:15-
dc.date.issued2009ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\559423ru
dc.identifier.citationПаранин, В. Д. Влияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разряда / В. Д. Паранин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - [Ч. 1]. - С. 212-217.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Vliyanie-nelineinosti-teplofizicheskih-harakteristik-materiala-na-temperaturu-rabochei-poverhnosti-podlozhki-pri-obrabotke-v-plazme-otkrytogo-razryada-110729-
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. - Текст : электронныйru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций. - [Ч. 1]ru
dc.titleВлияние нелинейности теплофизических характеристик материала на температуру рабочей поверхности подложки при обработке в плазме открытого разрядаru
dc.typeTextru
dc.citation.epage217ru
dc.citation.spage212ru
dc.textpartА.Коледов. - М.: Радио и связь, 1989. - 400 с. 3. Сорокин, А.Р. Открытый разряд: структура, развитие, роль фотоэмиссии [Текст] / А.Р.Сорокин //Журнал технической физики. - 1998. - Т.68. - №3. - С.33-38. 4. Сорокин, А.Р. Формирование электронных пучков в открытом разряде [Текст] / А.Р.Сорокин // Письма в Журнал технической физики, - 2000. - Т.26. - Вып.24.-С.89-93. 5. Сорокин. А.Р. Барьерный открытый разряд атмосферного давления [Текст] / А.Р.Сорокин // Письма в Журнал технической физи...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0672-8_2009-212-217.pdf290.82 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.