Отрывок: б в г д Рисунок 3 - Вид поверхности исследуемых подложек, полученный на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) Solver PRO-M фирмы ”НТ-МДТ” а,б - изображение и профилограмма исходной поверхности, соответственно; в - микрофотография исследуемой поверхности (1 – при нагрузке подложки-зонда на исследуемую поверхность 0,2кг; 2 – 0,3 кг); г- профилограмма в области участка 2; д – АСМ изображение исследуемой...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКричевский С. В.ru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королеваru
dc.contributor.authorРоссийская академия наукru
dc.coverage.spatialдиоксид кремнияru
dc.coverage.spatialэкспериментальная физикаru
dc.coverage.spatialприборы анализа и повышения степени чистоты поверхностиru
dc.creatorКричевский С. В.ru
dc.date.issued2008ru
dc.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/К 828-389305ru
dc.identifier.citationКричевский, С. В. Разработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремния [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 / С. В. Кричевский ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2008. - on-lineru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия)ru
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobatru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 4,54 Мбайт)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofРазработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремния [Текст] : автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01ru
dc.titleРазработка приборов анализа и повышения степени чистоты поверхности диоксида кремнияru
dc.typeTextru
dc.subject.rubbk01.04.01ru
dc.subject.rugasnti29.01ru
dc.subject.udc53(043.3)ru
dc.textpartб в г д Рисунок 3 - Вид поверхности исследуемых подложек, полученный на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) Solver PRO-M фирмы ”НТ-МДТ” а,б - изображение и профилограмма исходной поверхности, соответственно; в - микрофотография исследуемой поверхности (1 – при нагрузке подложки-зонда на исследуемую поверхность 0,2кг; 2 – 0,3 кг); г- профилограмма в области участка 2; д – АСМ изображение исследуемой...-
Располагается в коллекциях: Авторефераты

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Кричевский С.В.pdf4.65 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.