Отрывок: 3.3. Зависимости скорости травления от напряжения на электродах газоразрядного устройства при разных значениях тока разряда: 1 - 140 мА, В = 1; 2 - 120 м А ,Б = 0,625; 3 - 80 мА, В = 0,588; 4 - 50 мА, В = 0,555 ; ш триховыми линиями показаны зависимости (2.41) и (2.46); х - значения скорости травления, рассчитанные с помощью программного обеспечения. Анализ данных зависимостей показывает, что при малых значениях напряжений (0,5-1 кВ) и больших значениях тока (120-140 мА, к...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Колпаков В. А. | ru |
dc.contributor.author | Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева | ru |
dc.contributor.author | Российская академия наук | ru |
dc.coverage.spatial | плазма газового разряда | ru |
dc.coverage.spatial | оптический микрорельеф | ru |
dc.coverage.spatial | газовый разряд высоковольтного типа | ru |
dc.coverage.spatial | диоксид кремния | ru |
dc.creator | Колпаков В. А. | ru |
dc.date.issued | 2004 | ru |
dc.identifier | RU/НТБ СГАУ/WALL/Дис/К 615-015529 | ru |
dc.identifier.citation | Колпаков, В. А. Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа [Электронный ресурс] : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2004. - on-line | ru |
dc.description.abstract | ДСП | ru |
dc.description.abstract | Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) | ru |
dc.description.abstract | Используемые программы: Adobe Acrobat | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 4,09 Мбайт) | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.isformatof | Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа [Текст] : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01 | ru |
dc.title | Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rubbk | 01.04.01 | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.03 | ru |
dc.subject.udc | 53.145(043.3) | ru |
dc.subject.udc | Дис | ru |
dc.textpart | 3.3. Зависимости скорости травления от напряжения на электродах газоразрядного устройства при разных значениях тока разряда: 1 - 140 мА, В = 1; 2 - 120 м А ,Б = 0,625; 3 - 80 мА, В = 0,588; 4 - 50 мА, В = 0,555 ; ш триховыми линиями показаны зависимости (2.41) и (2.46); х - значения скорости травления, рассчитанные с помощью программного обеспечения. Анализ данных зависимостей показывает, что при малых значениях напряжений (0,5-1 кВ) и больших значениях тока (120-140 мА, к... | - |
Располагается в коллекциях: | Диссертации (Закрыто) |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Колпаков В.А.Формирование оптического.PDF | from 1C | 4.19 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.