Отрывок: 1 ln1085,7 4 (5) где J - средний потенциал ионизации за который примем среднюю потерю энергии на взаимодействие при учете всех возможных процессов потери энергии, эВ: 19.05,5876,9 ZZJ ...
Название : | Моделирование взаимодействия электронного пучка с веществом методом Монте-Карло |
Авторы/Редакторы : | Подлипнов, В.В. Шабека, А.С. Куприянов, А.В. |
Ключевые слова : | компьютерная оптика моделирование методом Монте-Карло электронно-лучевая литография |
Дата публикации : | 2016 |
Издательство : | Издательство СГАУ |
Библиографическое описание : | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 153-157 |
Аннотация : | В работе предложено физико-математическое моделирование процесса взаимодействия электронного пучка с веществом на основе метода Монте-Карло. Получены результаты статистического анализа, согласующиеся с известными ранее работами. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modelirovanie-vzaimodeistviya-elektronnogo-puchka-s-veshestvom-metodom-MonteKarlo-60636 |
ISBN : | 978-5-7883-1078-7 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20161208\60636 |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
153-157.pdf | Основная статья | 545.48 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.