Отрывок: Величина смещения в такой конструкции будет определяться формулой (1): ( )αsinhx = (1) Компьютерная оптика и нанофотоника С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов IV Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) 319 К сожалению, такая пластина приводит к определенным э...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Ганчевская, С.В. | - |
dc.contributor.author | Скиданов, Р.В. | - |
dc.contributor.author | Ganchevskaya, S.V. | - |
dc.contributor.author | Skidanov, R.V. | - |
dc.date.accessioned | 2018-05-22 10:09:00 | - |
dc.date.available | 2018-05-22 10:09:00 | - |
dc.date.issued | 2018 | - |
dc.identifier | Dspace\SGAU\20180519\69689 | ru |
dc.identifier.citation | Ганчевская С.В. Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур / С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов // Сборник трудов IV международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) - Самара: Новая техника, 2018. - С.317-321. | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modificirovannyi-metod-pryamoi-lazernoi-zapisi-radialnosimmetrichnyh-struktur-69689 | - |
dc.description.abstract | Предложен и промоделирован модифицированный метод прямой лазерной записи по фоторезисту. Метод основан на использовании плоскопараллельной пластины для смещения пишущего пучка. Проведено экспериментальное исследование по записи радиально-симметричных структур пучком со смещенной фокусировкой. A modified direct laser photoresist recording method was proposed and modeled. The method is based on using a planar-parallel plate to shift the writing beam. An experimental study was carried out on the recording of radially symmetric structures by a beam with a shifted focusing. | ru |
dc.description.sponsorship | Работа выполнена при поддержке Федерального агентства научных организаций (соглашение No 007-ГЗ/Ч3363/26), Министерства образования РФ в рамках выполнения государственного задания 3.3025.2017/4.6 и гранта Президента НШ-6307.2018.8. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.publisher | Новая техника | ru |
dc.subject | writing beam | ru |
dc.subject | radially symmetric structures | ru |
dc.subject | circle laser writing system | ru |
dc.title | Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур | ru |
dc.title.alternative | Modified method of direct laser writing radially symmetric structures | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.textpart | Величина смещения в такой конструкции будет определяться формулой (1): ( )αsinhx = (1) Компьютерная оптика и нанофотоника С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов IV Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) 319 К сожалению, такая пластина приводит к определенным э... | - |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
paper_47.pdf | Основная статья | 246.32 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.