Отрывок: Электрон- электронные взаимодействия, приводящие к разрывам при этом могут быть определены с использованием случайных чисел из промежутка [0, 1) на основе стандартного алгоритма Монте-Карло. Для верификации такого подхода, было проведено моделирование эксперимента, описанного в работе Харриса. Промоделированное распределение молекулярной массы ПММА Секция: Компьютерная оптика и нанофотоника Новый ми...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Сидоров Ф. А. | ru |
dc.contributor.author | Рогожин А. Е. | ru |
dc.coverage.spatial | метод Монте-Карло | ru |
dc.coverage.spatial | микроскопический алгоритм | ru |
dc.coverage.spatial | математическое моделирование | ru |
dc.coverage.spatial | полиметилметакрилат | ru |
dc.coverage.spatial | модель дискретных потерь энергии | ru |
dc.coverage.spatial | модель идеальной цепи | ru |
dc.coverage.spatial | электронно-лучевая литография | ru |
dc.creator | Сидоров Ф. А., Рогожин А. Е. | ru |
dc.date.accessioned | 2020-08-10 15:27:47 | - |
dc.date.available | 2020-08-10 15:27:47 | - |
dc.date.issued | 2020 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\441605 | ru |
dc.identifier.citation | Сидоров, Ф. А. Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии / Ф. А. Сидоров, А. Е. Рогожин // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - 2020. - Т. 1. - С. 412-418 | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Novyi-mikroskopicheskii-podhod-k-modelirovaniu-processov-elektronnoluchevoi-litografii-85178 | - |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.ispartof | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек | ru |
dc.source | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника | ru |
dc.title | Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 418 | ru |
dc.citation.spage | 412 | ru |
dc.citation.volume | 1 | ru |
dc.textpart | Электрон- электронные взаимодействия, приводящие к разрывам при этом могут быть определены с использованием случайных чисел из промежутка [0, 1) на основе стандартного алгоритма Монте-Карло. Для верификации такого подхода, было проведено моделирование эксперимента, описанного в работе Харриса. Промоделированное распределение молекулярной массы ПММА Секция: Компьютерная оптика и нанофотоника Новый ми... | - |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
ИТНТ-2020_том 1-412-418.pdf | 459.71 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.