Отрывок: В качестве мишени для напыления была выбрана мишень оксида цинка (ZnO). Зависимость показателя преломления от длины волны данного оксида представлена на рисунке 1. В ходе работы были подобраны оптимальные параметры напыления пленки оксида цинка на подложку из кварца оптического качества. Мощность подаваемого с генератора сигнала P = 500 Вт, расход аргона Q(Ar) = 2,0 л/ч, Q(O2) = 0,7 л/ч, остаточной давления в камере p = 5*10 -4 Па, температура нагрева подложки t = 120 ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorФомченков, С.А.-
dc.contributor.authorПолетаев, С.Д.-
dc.date.accessioned2017-05-11 10:43:18-
dc.date.available2017-05-11 10:43:18-
dc.date.issued2017-
dc.identifierDspace\SGAU\20170510\63663ru
dc.identifier.citationФомченков С.А. Разработка и исследование способа напыления тонких диэлектрических пленок для создания многослойных дифракционных оптических элементов / С.А. Фомченков, С.Д. Полетаев // Сборник трудов III международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2017) - Самара: Новая техника, 2017. - С. 282-284.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Razrabotka-i-issledovanie-sposoba-napyleniya-tonkih-dielektricheskih-plenok-dlya-sozdaniya-mnogosloinyh-difrakcionnyh-opticheskih-elementov-63663-
dc.description.abstractИсследован процесс магнетронного напыления диэлектрических пленок оксида цинка ZnO с помощью установки магнетронного распыления с постоянным источником тока «Caroline D12A», модернизированной с целью возможности распыления диэлектрических мишеней. Показано, что данный способ напыления диэлектрических пленок позволяет получать качественные покрытия и слои, соответствующие требованиям для создания многослойных дифракционных оптических элементов.ru
dc.description.sponsorshipРабота выполнена при поддержке гранта РФФИ № 16-29-11744.ru
dc.language.isorusru
dc.publisherНовая техникаru
dc.subjectмагнетронное напылениеru
dc.subjectтонкие плёнкиru
dc.subjectдифракционные оптические элементыru
dc.titleРазработка и исследование способа напыления тонких диэлектрических пленок для создания многослойных дифракционных оптических элементовru
dc.typeArticleru
dc.textpartВ качестве мишени для напыления была выбрана мишень оксида цинка (ZnO). Зависимость показателя преломления от длины волны данного оксида представлена на рисунке 1. В ходе работы были подобраны оптимальные параметры напыления пленки оксида цинка на подложку из кварца оптического качества. Мощность подаваемого с генератора сигнала P = 500 Вт, расход аргона Q(Ar) = 2,0 л/ч, Q(O2) = 0,7 л/ч, остаточной давления в камере p = 5*10 -4 Па, температура нагрева подложки t = 120 ...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
paper 58_282-284.pdfОсновная статья. Раздел: Компьютерная оптика и нанофотоника628.28 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.