Отрывок: омаксминск.оск fССfC 1 , (4) где Сп, Сск, г/см 2 – концентрации атомно-молекулярных загрязнений, соответствующие коэффициентам трения покоя и скольжения; m, B – эмпирические константы; fмакс, fмин – максимальный и минимальный коэффициент трения покоя; fск.о – коэффициент трения скольжения в относительных величинах; Смин, Смакс – предельные значения концентраций атомно-молекулярных загрязнений. Информационные технологии и нанотехнологии-...
Название : | Трибометрическое устройство экспресс-контроля чистоты поверхности подложек |
Авторы/Редакторы : | Ивлиев, Н.А. Колпаков, В.А. Лукичев, Д.С. |
Ключевые слова : | трибометрическое устройство контроль степени чистоты поверхность |
Дата публикации : | 2016 |
Издательство : | Издательство СГАУ |
Библиографическое описание : | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 204-209 |
Аннотация : | Представлено трибометрическое устройство, предназначенное для экспресс-контроля концентрации органических загрязнений на поверхности полупроводниковых и диэлектрических подложек в диапазоне 5·10^-10 – 10^-7 г/см2 и основанное на измерении коэффициентов трения покоя и скольжения между исследуемыми поверхностями. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Tribometricheskoe-ustroistvo-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-60645 |
ISBN : | 978-5-7883-1078-7 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20161208\60645 |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
204-209.pdf | Основная статья | 562.61 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.