Отрывок: Это динамика плавления материа лов в различных испарителях, кинетика распространения молекулярных потоков, процессы осаждения частиц, их миграция по подложке, коалес- пенпия, получение пленок сложных соединений. Разрабатываются пакеты программ по ионному и ионно-плазменному распылению материалов, диф фузии примесей, эпитаксиальному наращиванию пленок. Программы позво ляют также рассчитывать ряд физических и техно...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Меркулов А. И. | ru |
dc.coverage.spatial | интенсивные технологии обучения | ru |
dc.coverage.spatial | компьютеризация обучения | ru |
dc.coverage.spatial | обучающие программы | ru |
dc.coverage.spatial | обучение микроэлектронным технологиям | ru |
dc.coverage.spatial | микроэлектронные технологии | ru |
dc.coverage.spatial | подготовка специалистов | ru |
dc.creator | Меркулов А. И. | ru |
dc.date.issued | 1996 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\480129 | ru |
dc.identifier.citation | Меркулов, А. И. Опыт компьютеризации обучения микроэлектронной технологии / А. И. Меркулов // Интенсивные технологии обучения в подготовке специалистов : тез. докл. науч.-метод. конф., 1...2 февр. 1996 г. / Гос. комитет Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [редкол.: В. Л. Балакин, Б, А, Горлач, Д. М. Козлов, В. А. Комаров, В. Ф. Павлов, С. А. Прохоров, Р. И. Таллер, Е. В. Шахматов]. - Самара, 1996Ч. 1. - 1996. - С. 102. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.ispartof | Интенсивные технологии обучения в подготовке специалистов : тез. докл. науч.-метод. конф., 1...2 февр. 1996 г. - Текст : электронный | ru |
dc.source | Интенсивные технологии обучения в подготовке специалистов. - Ч. 1 | ru |
dc.title | Опыт компьютеризации обучения микроэлектронной технологии | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.spage | 102 | ru |
dc.textpart | Это динамика плавления материа лов в различных испарителях, кинетика распространения молекулярных потоков, процессы осаждения частиц, их миграция по подложке, коалес- пенпия, получение пленок сложных соединений. Разрабатываются пакеты программ по ионному и ионно-плазменному распылению материалов, диф фузии примесей, эпитаксиальному наращиванию пленок. Программы позво ляют также рассчитывать ряд физических и техно... | - |
Располагается в коллекциях: | Интенсивные технологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-102.pdf | 46.43 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.