Отрывок: Проведены кристаллографические исследования поверхности полупро водниковых пластин, показавшие корреляцию между размерами и формой ямок травления (дислокаций) с величиной отклонения плоскости алмазной пилы от нормали к оси полупроводникового стержня, выражаемую в отклонении ямок травления от правильной формы равностороннего треугольника или квадр...
Название : | Исследование корреляции параметров краевых дислокаций и кристаллографических плоскостей полупроводника |
Авторы/Редакторы : | Виноградов А. Д. Подлипнов В. В. |
Дата публикации : | 2007 |
Библиографическое описание : | Виноградов, А. Д. Исследование корреляции параметров краевых дислокаций и кристаллографических плоскостей полупроводника / А. Д. Виноградов, В. В. Подлипнов // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 192. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\480323 |
Ключевые слова: | режимы технологического процесса разрезание полупроводниковых стержней приборостроение полупроводники краевые дислокации кристаллографические исследования кристаллографические параметры физико-математические модели скрытые дефекты структуры аналитические зависимости |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-0531-8_2007-192.pdf | 58.71 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.