Отрывок: Подставляя М = 44,82-10~27 кг и U = 3,6 кВ, а также массы для электрона те =9,1-10~31 кг и иона кислорода т,= 26,5 -10-27 кг, получим, соответственно, АД = 0,23 эВ и АД = 3,3 кэВ. Энергия активации «вакансий» составляет 0,8-0,9 эВ, т.е. энергии частиц плазмы вполне достаточно для образования потока «вакансий». Показана возможность формирования каталитич...
Название : | Исследование механизма диффузии атомов кремния в жидкой фазе алюминия при облучении структуры Al-Si направленным потоком низкотемпературной плазмы |
Авторы/Редакторы : | Мокеев Д. А. Колпаков А. И. |
Дата публикации : | 2007 |
Библиографическое описание : | Мокеев, Д. А. Исследование механизма диффузии атомов кремния в жидкой фазе алюминия при облучении структуры Al-Si направленным потоком низкотемпературной плазмы / Д. А. Мокеев, А. И. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 200. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\480348 |
Ключевые слова: | облучение ионно-электронным потоком газовые разряды высоковольтного типа дифракционные оптические элементы механизм диффузии атомов кремния кремниевые подложки формирование каталитической маски технологические процессы система жидкий алюминий - кремний |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-0531-8_2007-200.pdf | 56.75 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.