Отрывок: В . Г о л о д н о е Научный руководитель - зав.уч.лаб. Крмчевекий С.В. Самарский государственный аэрокосмический университет Предложено для увеличения адгезии пленок производить их отжиг ионно-электронным потоком. В качестве технологического инс трумента использовалась газоразрядная пушка высоковольтного типа. Основные параметры пушки: ток луча 0,2-200 мА, ускоряющее напря жение на электродах 0,8-5 кВ, время непрерывной работы...
Название : | Исследование влияния ионно-электронного отжига на адгезию тонкопленочных резисторов |
Авторы/Редакторы : | Голоднов М. В. Кричевский С. В. |
Дата публикации : | 1995 |
Библиографическое описание : | Голоднов, М. В. Исследование влияния ионно-электронного отжига на адгезию тонкопленочных резисторов / М. В. Голоднов ; науч. руководитель С. В. Кричевский // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 107. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\533915 |
Ключевые слова: | адгезия тонкопленочных резисторов ионно-электронный отжиг тонкопленочные резисторы |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-107_1.pdf | 46.15 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.