Отрывок: Однако при трибометрическом взаимодействии возможны механические по...
Название : | Особенности механизма взаимодействия двух подложек в трибометрическом устройстве контроля чистоты их поверхности |
Авторы/Редакторы : | Ивлиев Н. А. Колпаков В. А. |
Дата публикации : | 2007 |
Библиографическое описание : | Ивлиев, Н. А. Особенности механизма взаимодействия двух подложек в трибометрическом устройстве контроля чистоты их поверхности / Н. А. Ивлиев, В. А. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 197. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\480344 |
Ключевые слова: | диэлектрические подложки микроэлектроника коэффициент трения скольжения контроль чистоты поверхности методы трибометрии трибометрические устройства трибометрическое взаимодействие подложек |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-0531-8_2007-197.pdf | 52.89 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.