Отрывок: ru LXXII Молодёжная научная конференция 167 определить спектр отражения подложки и рассчитать ее показатель преломления, а затем рассчитать оптические константы исследуемой пленки. В УФ диапазоне в карбиде кремния наблюдается основное поглощение. В данной работе считается, что поглощение достаточно сильное, так что многократным отражением можно пренебречь. Для увеличения точности определения оптических параметров ...
Название : | Оптические свойства слоев карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления |
Авторы/Редакторы : | Курганский И. В. Щербак А. В. |
Дата публикации : | 2022 |
Библиографическое описание : | Курганский, И. В. Оптические свойства слоев карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления / И. В. Курганский ; науч. руководитель А. В. Щербак // LXXII молодежная научная конференция, посвященная 80-летию КуАИ-СГАУ-Самарского университета, 115-летию со дня рождения академика С. П. Королева : тезисы докладов / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; отв. ред. А. Б. Прокофьев, ред. М. А. Шлеенков. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022. - С. 166-167. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/LXXII-MOLODEZhNAYa-NAUChNAYa-KONFERENCIYa/Opticheskie-svoistva-sloev-karbida-kremniya-poluchaemyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-100871 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\510140 |
Ключевые слова: | карбид кремния радиоэлектрический эффект оптические параметры спектр отражения |
Располагается в коллекциях: | LXXII МОЛОДЁЖНАЯ НАУЧНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-1820-2_2022-166-167.pdf | 577.19 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.