Отрывок: Свободные маски, используемые при изготовлении пленочных элементов и схем, должны удовлетворять следующим требованиям: иметь узкие прорези < (0 ,1 ми о точностью изготовления ± 0 ,0 0 5 ; прорези в масках должны иметь четкие контуры без шерохова тостей г.о кромке, которые были бы видны при 50-ти кратной увели чении; обладать достаточной жесткостью а упругость» и быть дост...
Название : | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме |
Авторы/Редакторы : | Волков А. В. Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 1982 |
Библиографическое описание : | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (405,38 Кб) |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat. Предлагаются методы изучения технологическихпроцессов изготовления тонкопленочных резисторов, конденсаторов к проводников пассивных элементов гибридных ИС, а также анализируется связь технологического процесса напыления с параметрами тонкопленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем". Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-termicheskogo-napyleniya-v-vakuume-93227 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\470498 |
Ключевые слова: | геоинформационные системы (ГИС) методические издания пассивные элементы ГИС термическое напыление в вакууме |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Волков А.В. Изучение технологии 1982.pdf | 405.38 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.