Отрывок: В этой связи, в рамках рассматриваемой работы, разработаны ме тоды моделирования процесса химического травления, основанные на исполь зовании вероятностных клеточных автоматов (ВКА). Проведено компьютерное моделирование процессов химического трав ления кремния с учетом влияния адсорбционно-десорбционных и диффузион ных процессов, в результате которого получены профил...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Лачин М. А. | ru |
dc.contributor.author | Саноян А. Г. | ru |
dc.coverage.spatial | радиоэлектронные средства | ru |
dc.coverage.spatial | травление кремния | ru |
dc.coverage.spatial | травление оксидных пленок | ru |
dc.coverage.spatial | химическое травление | ru |
dc.coverage.spatial | компьютерное моделирование | ru |
dc.coverage.spatial | моделирование технологических процессов | ru |
dc.coverage.spatial | процесс химического травления | ru |
dc.creator | Лачин М. А. | ru |
dc.date.issued | 2005 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\458677 | ru |
dc.identifier.citation | Лачин, М. А. Компьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур / М. А. Лачин ; науч. руководитель А. Г. Саноян // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 252. | ru |
dc.source | VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронный | ru |
dc.title | Компьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.spage | 252 | ru |
dc.textpart | В этой связи, в рамках рассматриваемой работы, разработаны ме тоды моделирования процесса химического травления, основанные на исполь зовании вероятностных клеточных автоматов (ВКА). Проведено компьютерное моделирование процессов химического трав ления кремния с учетом влияния адсорбционно-десорбционных и диффузион ных процессов, в результате которого получены профил... | - |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр. 252.pdf | 46.76 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.