Отрывок: В зависимости от числа столкновений положительных ионов на пути к катоду их энергия будет изменяться согласно выражению: ( ) ( ) 1 2 4 21 1 , 2- æ ö +æ ö = - + -ç ÷ ç ÷ç ÷+ è øè ø ii n n i h nm ME E eU arctg cm M l p Секция 7. Микроэлектроника, наноэлектроника и приборостроение 55 где n – номер соударения иона с атомом или молекулой в полости катода; Еn-1 –...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Лукичёв, Д.С. | - |
dc.contributor.author | Маркушин, М.А. | - |
dc.contributor.author | Столбинский, Д.В. | - |
dc.contributor.author | Колпаков, В.А. | - |
dc.date.accessioned | 2017-02-13 15:46:19 | - |
dc.date.available | 2017-02-13 15:46:19 | - |
dc.date.issued | 2015 | - |
dc.identifier | Dspace\SGAU\20170213\62269 | ru |
dc.identifier.citation | XIII Королёвские чтения: Международная молодёжная научная конференция, Самара, 6-8 октября 2015 года: Тезисы докладов, T.2. Самара: Издательство СГАУ, 2015, с. 54-55 | ru |
dc.identifier.isbn | 978-5-9905304-6-1 | - |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Optimizaciya-konstrukcii-shirokoaperturnogo-istochnika-vneelektrodnoi-plazmy-s-polym-katodom-62269 | - |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.publisher | Издательство СГАУ | ru |
dc.subject | плазма | ru |
dc.subject | высоковольтный газовый разряд | ru |
dc.subject | полый катод | ru |
dc.subject | источник низкотемпературной плазмы | ru |
dc.title | Оптимизация конструкции широкоапертурного источника внеэлектродной плазмы с полым катодом | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.textpart | В зависимости от числа столкновений положительных ионов на пути к катоду их энергия будет изменяться согласно выражению: ( ) ( ) 1 2 4 21 1 , 2- æ ö +æ ö = - + -ç ÷ ç ÷ç ÷+ è øè ø ii n n i h nm ME E eU arctg cm M l p Секция 7. Микроэлектроника, наноэлектроника и приборостроение 55 где n – номер соударения иона с атомом или молекулой в полости катода; Еn-1 –... | - |
dc.classindex.udc | 537.5; 537.525.99 | - |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
54-55.pdf | Основная статья | 390.87 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.