Отрывок: Для ее ре шения нами разрабатывается частная модель электродиффузионных процес сов в алюминиевых пленках, которая позволит оценить время наработки на от каз алюминиевой металлизации с учетом параметров технологического про цесса ее создания. Модель реализована на основе методики вероятностного клеточного автомата (ВКА) и рассматривает процессы ЭПМ в продольном се чении проводника. Достоинства подхода ВКА: возможность рассмотрения лю бой структуры крис...
Название : | Разработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем |
Авторы/Редакторы : | Тукмаков К. Н. Арефьев М. В. Архипов А. В. |
Дата публикации : | 2005 |
Библиографическое описание : | Тукмаков, К. Н. Разработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем / К. Н. Тукмаков, М. В. Арефьев ; науч. руководитель А. В. Архипов // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 265. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\458742 |
Ключевые слова: | алюминиевая металлизация микросхем частная модель электродиффузионных процессов электродиффузионные процессы интегральные микросхемы |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр. 265.pdf | 57.1 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.