Отрывок: Необходимо отметить широкое распространение технологий прямой записи при создании малых серий устройств микросистемной техники (или уникальных устройств), в то время как технологии литографии изначально ориентированы на серийное производство. Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ 19-07-00423-а. Фундаментальные проблемы разработки и использования микромеханических и микроэлек...
Название : | Технологии микросистемной техники и наносенсорики |
Авторы/Редакторы : | Павельев В. С. Тукмаков К. Н. Агафонов А. Н. Трипати Н. Кумар С. |
Дата публикации : | 2020 |
Библиографическое описание : | Технологии микросистемной техники и наносенсорики / В. С. Павельев, К. Н. Тукмаков, А. Н. Агафонов, Н. Трипати, С. Кумар // Навигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. И. В. Белоконова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2020. - С. 55-56. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\446766 |
Ключевые слова: | бортовая измерительная техника дифракционная оптика интегральная микроэлектроника литографические технологии наноматериалы наносенсорика миниатюрные сенсоры микросистемная техника |
Располагается в коллекциях: | Навигация и управление движением |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-55-56.pdf | 416.31 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.