Отрывок: Необходимо отметить широкое распространение технологий прямой записи при создании малых серий устройств микросистемной техники (или уникальных устройств), в то время как технологии литографии изначально ориентированы на серийное производство. Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ 19-07-00423-а. Фундаментальные проблемы разработки и использования микромеханических и микроэлек...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Тукмаков К. Н. | ru |
dc.contributor.author | Агафонов А. Н. | ru |
dc.contributor.author | Трипати Н. | ru |
dc.contributor.author | Кумар С. | ru |
dc.coverage.spatial | бортовая измерительная техника | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционная оптика | ru |
dc.coverage.spatial | интегральная микроэлектроника | ru |
dc.coverage.spatial | литографические технологии | ru |
dc.coverage.spatial | наноматериалы | ru |
dc.coverage.spatial | наносенсорика | ru |
dc.coverage.spatial | миниатюрные сенсоры | ru |
dc.coverage.spatial | микросистемная техника | ru |
dc.creator | Павельев В. С., Тукмаков К. Н., Агафонов А. Н., Трипати Н., Кумар С. | ru |
dc.date.issued | 2020 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\446766 | ru |
dc.identifier.citation | Технологии микросистемной техники и наносенсорики / В. С. Павельев, К. Н. Тукмаков, А. Н. Агафонов, Н. Трипати, С. Кумар // Навигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. И. В. Белоконова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2020. - С. 55-56. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.source | Навигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.). - Текст : электронный | ru |
dc.title | Технологии микросистемной техники и наносенсорики | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 56 | ru |
dc.citation.spage | 55 | ru |
dc.textpart | Необходимо отметить широкое распространение технологий прямой записи при создании малых серий устройств микросистемной техники (или уникальных устройств), в то время как технологии литографии изначально ориентированы на серийное производство. Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ 19-07-00423-а. Фундаментальные проблемы разработки и использования микромеханических и микроэлек... | - |
Располагается в коллекциях: | Навигация и управление движением |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-55-56.pdf | 416.31 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.