Отрывок: Низкая скорость травления кремния в данном случае обусловлена малой энергией фторсодержащих ионов, и низкой концентрацией ХАЧ высоковольтного газового разряда, что кореллирует с данными работы [1, 2]. При напряжении U=1100В и токе I=190мА (рис. 1, d) наблюдается увеличение глубины травления до 350нм. Однако при этом происходит повышение степени шероховатости, которое вызвано, по-видимому, недостаточной скоростью удаления пассивирующего...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКолпаков, В.А.-
dc.contributor.authorПодлипнов, В.В.-
dc.date.accessioned2017-04-03 14:04:14-
dc.date.available2017-04-03 14:04:14-
dc.date.issued2011-
dc.identifierDspace\SGAU\20170403\63384ru
dc.identifier.citationРегиональная научно-практическая конференция, посвящѐнная 50-летию первого полѐта человека в космос. Самара, 14-15 апреля 2011 г.: тезисы докладов. – Самара: Издательство Самарского государственного аэрокосмического университета, 2011. – c. 217-218ru
dc.identifier.isbn978-5-7883-0839-5-
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Sbornik-tezisov-dokladov-regionalnoi-nauchnoprakticheskoi-konferencii-posvyashennoi-50letiu-pervogo-poleta-cheloveka-v-kosmos/Issledovanie-processov-travleniya-kremniya-vo-vneelektrodnoi-plazme-vysokovoltnogo-gazovogo-razryada-63384-
dc.language.isorusru
dc.publisherИздательство Самарского государственного аэрокосмического университетаru
dc.subjectвнеэлектродная плазмаru
dc.subjectвысоковольтный газовый разрядru
dc.subjectтравление кремнияru
dc.titleИсследование процессов травления кремния во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разрядаru
dc.typeArticleru
dc.textpartНизкая скорость травления кремния в данном случае обусловлена малой энергией фторсодержащих ионов, и низкой концентрацией ХАЧ высоковольтного газового разряда, что кореллирует с данными работы [1, 2]. При напряжении U=1100В и токе I=190мА (рис. 1, d) наблюдается увеличение глубины травления до 350нм. Однако при этом происходит повышение степени шероховатости, которое вызвано, по-видимому, недостаточной скоростью удаления пассивирующего...-
dc.classindex.udc621.382-
Располагается в коллекциях: Сборник тезисов докладов региональной научно-практической конференции, посвященной 50-летию первого полета человека в космос

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
217-218.pdfОсновная статья285.13 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.