Отрывок: Этот механизм позволяет добиться увеличения селективности плазмохимического травления [10]. Анизотропия плазмохимического травления зависит от совокупности технологических факторов и может изменяться в значительных пределах. Основным фактором, влияющим на анизотропию ПХТ, является ионная бомбардировка. Ионы движутся перпендикулярно подложке и преимущественно воздействуют на дно структуры, их воздействие на боковые стенки минимально. Ионы...
Название : | Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложки |
Авторы/Редакторы : | Шурупова А. С. Володкин Б. О. Братченко И. А. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Шурупова, А. С. Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. С. Шурупова ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | В данной работе разбираются вопросы, связанные с методамианизотропного плазмохимического травления.Цель работы – разработка методов глубокого анизотропного травлениякремния.Задачи:1) Провести анализ существующих методов глубокого анизотропноготравления кремния.2) Разработать метод глубокого анизотропного травления кремния спомощью плазмохимического травления в газах C4F8 / SF6.3) Оптимизация параметров плазмохимического травления кремниядля получения необходимых параметров процесса: скорости травления,вертикальности стенок и латерального разрешения. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214160804 |
Ключевые слова: | индуктивно-связанная плазма подбор параметров анизотропное плазмохимическое травление BOSCH процессы |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Шурупова_Александра_Сергеевна_Глубокое_анизатропное_плазмохическое_травление.pdf | 2.43 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.