Отрывок: Эти частицы будут огибать экран из- за столкновений между собой и с молекулами газа, заполняющего герметичную камеру. Чтобы повысить эффективность метода, а именно повысить эффективность рассеяния потока атомов в теневую заэкранную область, используется инертный газ – аргон. С помощью этого метода можно получить пленки толщиной до 0.5 нм. Лазерное напыление один из самых технологичных методов, позволяющи...
Название : | Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO) |
Авторы/Редакторы : | Мокшин П. В. Володкин Б. О. Братченко И. А. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Мокшин, П. В. Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO) : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / П. В. Мокшин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с напылением тонких проводящих пленок на подложки.Цель работы – оценить выходные электрические параметры образцов, полученных с помощью магнетронного напыления оксида индия и олова (ИТО) на стеклянные подложки.В работе проведен анализ современных методов нанесения прозрачных проводящих покрытий. Рассмотрены преимущества и недостатки таких методов как: катодное распыление, жидкофазная эпитаксия, резистивное испарение, электрохимическое испарение, лазерное распыление, индукционное распыление, ионно-плазменное распыление, магнетронное распыление. Сделан вывод о целесообразности использования магнетронного распыления мишени индий-олова в атмосфере кислорода, для получения прозрачный проводящих покрытий оксида индий-олова. Отработаны режимы магнетронного распыления для получения покрытий с минимальным сопротивлением. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180522104101 |
Ключевые слова: | запрещенная зона оксид индия олова оптоэлектроника тонкие пленки оксида индия и олова (ITO) стехиометрия магнетронное напыление |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Мокшин_Павел_Валериевич_Исследование_технологии_нанесения_тонких.pdf | 1.16 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.