Отрывок: Волновая природа электронного пучка сильно проявляет себя при чрезвычайно малых размерах рисунка. Это следует учитывать при проектировании ДОЭ видимого и УД диапазона. 3. Ограничения, обусловленные аберрацией фокусирующей системы. Аберрация фокусирующих электронно-оптических систем присуща всем электронно-лучевым методам. 4. Ограничения, обусловленные системой управления отклонения пучка. 21 ЭЛЛ может быть сканирующей и проекционной. Сканирующая м...
Название : | Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы |
Авторы/Редакторы : | Гафуров Р. И. Харитонов С. И. Нефедов С. А. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Гафуров, Р. И. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Р. И. Гафуров ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроени. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования является отражающая дифракционная линза с фокусом в точку, изготовленная методами микро- и наноэлектроники. Цель работы – изготовление и исследование дифракционной линзы в среднем ик-диапазоне. В работе рассмотрен алгоритм расчета фо |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150724 |
Ключевые слова: | эйкональная функция дифракционные оптические элементы дифракционные линзы микрорельеф травление распределение интенсивности коллиматор литография |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Гафуров_Рустам_Идибекович_Изготовление_помощью_технологии.pdf | 1.79 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.