Отрывок: Волновая природа электронного пучка сильно проявляет себя при чрезвычайно малых размерах рисунка. Это следует учитывать при проектировании ДОЭ видимого и УД диапазона. 3. Ограничения, обусловленные аберрацией фокусирующей системы. Аберрация фокусирующих электронно-оптических систем присуща всем электронно-лучевым методам. 4. Ограничения, обусловленные системой управления отклонения пучка. 21 ЭЛЛ может быть сканирующей и проекционной. Сканирующая м...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Гафуров Р. И. | ru |
dc.contributor.author | Харитонов С. И. | ru |
dc.contributor.author | Нефедов С. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.coverage.spatial | эйкональная функция | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционные оптические элементы | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционные линзы | ru |
dc.coverage.spatial | микрорельеф | ru |
dc.coverage.spatial | травление | ru |
dc.coverage.spatial | распределение интенсивности | ru |
dc.coverage.spatial | коллиматор | ru |
dc.coverage.spatial | литография | ru |
dc.creator | Гафуров Р. И. | ru |
dc.date.issued | 2017 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150724 | ru |
dc.identifier.citation | Гафуров, Р. И. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Р. И. Гафуров ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроени. - Самара, 2017. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования является отражающая дифракционная линза с фокусом в точку, изготовленная методами микро- и наноэлектроники. Цель работы – изготовление и исследование дифракционной линзы в среднем ик-диапазоне. В работе рассмотрен алгоритм расчета фо | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,8 Мб) | ru |
dc.title | Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.31 | ru |
dc.subject.udc | 535.42 | ru |
dc.textpart | Волновая природа электронного пучка сильно проявляет себя при чрезвычайно малых размерах рисунка. Это следует учитывать при проектировании ДОЭ видимого и УД диапазона. 3. Ограничения, обусловленные аберрацией фокусирующей системы. Аберрация фокусирующих электронно-оптических систем присуща всем электронно-лучевым методам. 4. Ограничения, обусловленные системой управления отклонения пучка. 21 ЭЛЛ может быть сканирующей и проекционной. Сканирующая м... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Гафуров_Рустам_Идибекович_Изготовление_помощью_технологии.pdf | 1.79 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.