Отрывок: Таким образом, 22 размером области с протонным обменом в 3LiNbO можно умело манипулировать. Поскольку область, где происходит протонный обмен, может быть удалена с использованием смеси кислот HF / 3HNO , предлагаемый способ жидкостного травления может эффективно регулировать форму протравленной области в подложке 3LiNbO . Гладкая поверхность вертикальной стенки создается при соответствующих параметрах электрода и области, где происходит...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Кручинин М. С. | ru |
dc.contributor.author | Володкин Б. О. | ru |
dc.contributor.author | Братченко И. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | плазмохимическое травление | ru |
dc.coverage.spatial | карбонат кальция | ru |
dc.coverage.spatial | ниобат лития | ru |
dc.coverage.spatial | нелинейные оптические материалы | ru |
dc.creator | Кручинин М. С. | ru |
dc.date.issued | 2017 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180202161337 | ru |
dc.identifier.citation | Кручинин, М. С. Плазмохимическое травление нелинейных оптических материалов : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / М. С. Кручинин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Ниобат лития обладает уникальной совокупностью электрических, оптических и других свойств, что делает его одним из самых перспективных материалов для создания устройств функциональной электроники, микросистемной техники и нелинейной оптики. Однако трудности его размерной обработки в значительной мере сдерживают изготовление приборов на его основе. Поэтому представляет интерес изучение механизмов плазмохимического травления ниобата лития для получения в его объеме микро и наноструктур. Цель работы - разработка методов травления нелинейных оптических материалов, таких как ниобат лития. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: Подготовка литературного обзора по существующим методам травления ниобата лития и карбоната кальция. Подбор подходящих методов травления ниобата лития. Отработка технологических режимов травления ниобата лития и карбоната кальция. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 0,9 Мб) | ru |
dc.title | Плазмохимическое травление нелинейных оптических материалов | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.29 | ru |
dc.subject.udc | 621.792 | ru |
dc.textpart | Таким образом, 22 размером области с протонным обменом в 3LiNbO можно умело манипулировать. Поскольку область, где происходит протонный обмен, может быть удалена с использованием смеси кислот HF / 3HNO , предлагаемый способ жидкостного травления может эффективно регулировать форму протравленной области в подложке 3LiNbO . Гладкая поверхность вертикальной стенки создается при соответствующих параметрах электрода и области, где происходит... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Кручинин_Михаил_Сергеевич_Плазмохимическое_травление_нелинейных_оптических.pdf | 956 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.