Отрывок: Данные, полученные в результате эксперимента по определению зависимости сопротивления хромовых плёнок от толщины слоя и изменения температуры, представлены в таблице 1 и на рисунке 9. Таблица 1 – Значения сопротивления резисторов, при изменении температуры Температура, °C Сопротивления плёнки толщиной 40 нм, Ом Сопротивления плёнки толщиной 30 нм, Ом Сопротивления плёнки толщиной 20 нм, Ом Сопротивления плёнки т...
Название : | Разработка газовых микросенсоров на чиповой основе |
Авторы/Редакторы : | Якуненков Р. Е. Платонов В. И. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт ракетно-космической техники |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Якуненков, Р. Е. Разработка газовых микросенсоров на чиповой основе : вып. квалификац. работа по спец. "Наноинженерия" / Р. Е. Якуненков ; рук. работы В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т ракет.-косм. техники, Каф. химии. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | Целью выпускной квалификационной работы бакалавра является разработка газовых микросенсоров на чиповой основе для газовой хроматографии. Исходя из поставленной цели, были поставлены следующие задачи: 1) Разработка метода изготовления планарных резисторов с помощью УФ-литографии на базе металлических пленок, нанесенных методом магнетронного напыления; 2) Определение оптимальной толщины резистивной пленки металла, для получения наибольшего температурного коэффициента сопротивления; 3) Разработка методики нанесения каталитического слоя платины на планарный резистор; 4) Определение зависимости сопротивления планарных резисторов от их геометрии; 5) Проектирование и изготовление корпуса для чувствительных элементов газовых микросенсоров; 6) Определение основных метрологических характеристик газовых микросенсоров в системе портативного микрохроматографа «ПИА». |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20170616154902 |
Ключевые слова: | магнетроны чувствительные элементы детекторы микросенсоры микроэлектромеханические системы (МЭМС) |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Якуненков_Роман_Евгеньевич_Разработка_газовых_микросенсоров.pdf | 2.87 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.