Отрывок: Ниже приведена таблица характеристик некоторых материалов, используемых в качестве подложек в гибридных ИМС [8]. Выбор материала подложек обусловлен получением пленок с необходимыми свойствами. - Плоскостность – свойство, необходимое для качественной работы установок совмещения. Волнистость поверхности негативно влияет на четкость линий в фотолитографии. В таблице 1 приведены основные характеристики подложек. 20 Таблица 1 – Характ...
Название : | Разработка и исследование тонкопленочного нагревательного элемента |
Авторы/Редакторы : | Самойленко Н. А. Советкина М. А. Лофицкий И. В. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Самойленко, Н. А. Разработка и исследование тонкопленочного нагревательного элемента : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Н. А. Самойленко ; рук. работы М. А. Советкина; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования является технология создания тонких пленок, предмет исследования - тонкопленочный нагревательный элемент.Цель работы – произвести разработку конструкции и исследование параметров тонкопленочного нагревательного элемента.В работе изучены методы нанесения тонких пленок на подложку, рассмотрен вопрос методов крепежа контактов, отработаны элементы взаимодействия с технологическим и измерительным оборудованием, разработан и проанализирован технологический маршрут изготовления тонкопленочного нагревательного элемента.Область применения знаний и результатов, полученных в работе, достаточно широк: бытовое и промышленное использование, а в силу некоторых особенностей – использование в специальных областях, например, космической отрасли.В данной работе была разработана конструкция тонкопленочного нагревательного элемента для проведения исследований с данным изделием. Полученные результаты могут быть полезны для конструкторов и технологов в области изготовления тонкопленочных приборов. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171215100300 |
Ключевые слова: | технологические процессы тонкопленочные нагревательные элементы магнетронное напыление метод нанесения тонких пленок на подложку |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Самойленко_Николай_Андреевич_Разработка_исследование_тонкопленочного.pdf | 1.12 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.