Отрывок: Аналогично, тепловыделяющие ЭРЭ эквивалентны источникам тока, рассеиваемая тепловая мощность - электрическому току, а температуры в некоторых точках тепловых цепей - электрическим потенциалам (таблица 2) [23]. 22 Таблица 2 – Аналоги электрических и тепловых величин Электрическая цепь Тепловая цепь Наименовани е Обозначени е, формульны й вид Единиц а измере ния Наименовани е Обозначени е, формульны й вид Единица измерен ия У...
Название : | Разработка контактного нагревателя подложек с системой управления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5 |
Авторы/Редакторы : | Кочетков Д. В. Архипов А. В. Лофицкий И. В. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Кочетков, Д. В. Разработка контактного нагревателя подложек с системой управления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5 : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. В. Кочетков ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования является контактный нагреватель подложек дляустановки термовакуумного напыления.Цель работы – разработка контактного нагревателя подложек с системойуправления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5.В данной работе рассмотрены варианты исполнения и материалы дляизготовления системы нагрева подложек. Для создания нагревателя быларазработана система, включающая в себя керамические и металлическиепластины и нихромовую фольгу. Нагрев образцов происходит за счетомического нагрева, путем накала нихромовой фольги, посредствомпропускания через нее электрического тока. Управление системойпроизводится посредством ПИД-регулятора ТРМ151-01 с термопарой типаТП-0188/2-1.В разработанном проекте использованы следующие установки иустройства: пост вакуумный универсальный ВУП-5, программныйизмеритель-регулятор ТРМ151-01. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171215113855 |
Ключевые слова: | системы нагрева подложек контактные нагреватели термовакуумное испарение термовакуумное напыление тепловые модели программные измерители-регуляторы |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Кочетков_Дмитрий_Валерьевич_Разработка_контактного_нагревателя_подложек.pdf | 2.64 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.