Отрывок:
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Андреева Т. В. | ru |
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Моисеев О. Ю. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт электроники и приборостроения | ru |
dc.coverage.spatial | технология LIGA | ru |
dc.coverage.spatial | травление кремния | ru |
dc.coverage.spatial | фотолитография | ru |
dc.coverage.spatial | двухосевые виброгироскопы | ru |
dc.coverage.spatial | глубокое реактивное ионное травление | ru |
dc.coverage.spatial | виброгироскопы | ru |
dc.coverage.spatial | микроэлектромеханические системы (МЭМС) | ru |
dc.coverage.spatial | кремний-на-изоляторе | ru |
dc.creator | Андреева Т. В. | ru |
dc.date.issued | 2016 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20160912155743 | ru |
dc.identifier.citation | Андреева, Т. В. Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. В. Андреева ; рук. работы В. С. Павельев; рец. О. Ю. Моисеев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения. - Самара, 2016. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектами исследования являются модель симметрично- разделенного микроэлектромеханического виброгироскопа и технология его изготовления. Цель работы – разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа. Проведено моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа, спроектирована объемная модель микроэлектромеханического симметрично-разделенного виброгироскопа в среде моделирования CoventorWare, разработана технология изготовления смоделированного виброгироскопа, исследованы процессы фотолитографии и глубокого реактивного ионного травления кремния. Работа может быть рекомендована студентам направления подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника». | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 5,8 Мб) | ru |
dc.title | Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.29 | ru |
dc.subject.udc | 539.1 | ru |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Андреева_Татьяна_Витальевна_Разработка_технологии_изготовления.pdf | 5.93 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.