Отрывок: Формула для определения N выглядит следующим образом: 𝑁 = 𝑛 − 𝑖𝑘, (2) где n – показатель преломления; i – мнимая единица; k – показатель поглощения. Интенсивность светового потока I, пропорциональна квадрату амплитудного значения вектора напряженности электрического поля, и связана с начальным значением интенсивности, согласно закону Бугера – Ламбе...
Название : | Экспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия |
Авторы/Редакторы : | Бабкин Е. Н. Паранин В. Д. Саноян А. Г. Минобрнауки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Бабкин, Е. Н. Экспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Е. Н. Бабкин ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | В работе рассматриваются технологии напыления тонких пленок оптических покрытий, спектральные характеристики и методы их получения и анализа. Цель работы – исследование характеристик тонких пленок алюминия, полученных методом магнетронного напыления. Разработана технология магнетронного напыления тонких пленок алюминия на вакуумной установке ЭТНА-100-МТ. С помощью интерферометра Microscope WLI определены толщины изготовленных пленок алюминия, равные 11; 19 нм. С использованием электронного микроскопа Carl Zeiss SUPRA 25-30-85 исследована сплошность и целостность пленок. Измерены спектральные характеристики пропускания и отражения на спектрофотометре Shimadzu UV-2450 в диапазоне 400 – 750 нм. Измерено сопротивление образцов размером 76х25 мм, равное 349 Ом, 356 Ом для толщины 11 нм; 117 Ом, 114,9 Ом для толщины 19 нм. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808103655 |
Ключевые слова: | магнетронное напыление электронная микроскопия тонкие пленки алюминия спектральные характеристики |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Бабкин_Евгений_Николаевич_Экспериментальное_исследование_характеристик_тонких.pdf | 2.44 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.