Отрывок: Это связано с тем, что: во-первых, данный процесс сухой, количество загрязнений, попадающих на поверхность меньше, то есть не требуется дополнительных затрат на сушку и очистку от продуктов реакции; во-вторых, реагенты более безвредны, не воспламеняются; в-третьих, данный процесс автоматизирован, и включает в себя возможность совмещения в одном объеме нескольких технологических операций. Кроме того сухое травление обеспечивает более высокую разрешающую способность, в отличие от ж...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Гзиришвили Л. Г. | ru |
dc.contributor.author | Харитонов С. И. | ru |
dc.contributor.author | Шишкина Д. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | BOSCH процессы | ru |
dc.coverage.spatial | интерферометрия белого света | ru |
dc.coverage.spatial | мягкие маски | ru |
dc.coverage.spatial | сухое травление кремния | ru |
dc.coverage.spatial | фотолитография | ru |
dc.creator | Гзиришвили Л. Г. | ru |
dc.date.issued | 2021 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914154156 | ru |
dc.identifier.citation | Гзиришвили, Л. Г. Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием мягких масок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Л. Г. Гзиришвили ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информати. - Самара, 2021. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования является реактивно-ионное травление кремниячерез мягкие маски на основе фоторезистов марки ФП-3520 и ФП-051 КИ.Цель работы – исследование особенности и селективности сухоготравления кремния с использованием мягких масок.Рассмотрены достоинства и недостатки предложенных марокфоторезистов. Исследовано влияние технологических параметровизотропного травления и Bosch-процесса на селективность мягких масок.В результате работы был произведен обзор литературы методовлитографии, сухого травления, измерения глубины травления и толщинымаски. Были произведены фотолитографические процессы, плазмохимическоетравление исследуемых мягких масок, выполнены измерения глубинытравления и толщины масок. Проведен анализ полученных результатов иполучены зависимости скоростей травления от параметров процесса. Такжебыли исследованы особенности предложенных маскирующих покрытий.Практическая ценность работы заключается в возможности дальнейшейоптимизации параметров Bosch-процесса при изменении глобаль | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 10,5 Мб) | ru |
dc.title | Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием мягких масок | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 55.03 | ru |
dc.subject.udc | 621.794.4 | ru |
dc.textpart | Это связано с тем, что: во-первых, данный процесс сухой, количество загрязнений, попадающих на поверхность меньше, то есть не требуется дополнительных затрат на сушку и очистку от продуктов реакции; во-вторых, реагенты более безвредны, не воспламеняются; в-третьих, данный процесс автоматизирован, и включает в себя возможность совмещения в одном объеме нескольких технологических операций. Кроме того сухое травление обеспечивает более высокую разрешающую способность, в отличие от ж... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Гзиришвили_Лука_Георгиевич_Исследование_особенностей_селективности.pdf | 10.74 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.