Отрывок: При использовании CVD необходимы надлежащие меры предосторожности. Вентиляция, очистка побочных продуктов и непрореагировавших соединений имеют важное значение в процессах CVD. CVD можно сгруппировать на основе энергии, используемой для запуска химической реакции. Источники энергии могут быть фотонными, лазерными или температурными (тепловыми). CVD охватыва...
Название : | Методы нанесения тонких металлических плёнок |
Авторы/Редакторы : | Лобова Т. С. Шишкина Д. А. Ерендеев Ю. П. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики и кибернетики |
Дата публикации : | 2022 |
Библиографическое описание : | Лобова, Т. С. Методы нанесения тонких металлических плёнок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Т. С. Лобова ; рук. работы Д. А. Шишкина ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики и. - Самара, 2022. - 1 файл (931 Кб). - Текст : электронный |
Аннотация : | В данной выпускной квалификационной работе разработанамаршрутная карта нанесения антиотражающего покрытия на основе многослойной тонкопленочной структуры с помощью реактивного магнетронного распыления.Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесены слои диоксида кремния и хрома. Данное покрытие уменьшает коэффициент отражения. Требуемый коэффициент отражения неболее 20% при длине волны λ=700 нм. В процессе работы использована установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ. Исследованы оптические характеристики абсорбера – толщина пленки и коэффициент отражения при λ=700 нм с помощью спектроскопического рефлектометра и интерферометра белого света WLI-DMR. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Metody-naneseniya-tonkih-metallicheskih-plenok-98714 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20220810101133 |
Ключевые слова: | антиотражающее покрытие вакуум коэффициент отражения магнетронное напыление многослойные тонкопленочные структуры реактивное распыление спектроскопия тонкие металлические пленки |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Лобова_Татьяна_Сергеевна_Методы_нанесения_тонких_металлических.pdf | 930.72 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.