Отрывок: Графитовый изолированный контейнер, в котором находиись горизонтально установленные подложки кремния, обеспечивал равномерный тем- пературный режим. Такое решение позволяло проводить однородный поток газа по всем подложкам. Смесь углеводород...
Название : | Моделирование процесса изготовления фоточувствительных структур на базе пористого кремния |
Авторы/Редакторы : | Шишкин И. А. Латухина Н. В. Министерство образования и науки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Естественнонаучный институт |
Дата публикации : | 2020 |
Библиографическое описание : | Шишкин, И. А. Моделирование процесса изготовления фоточувствительных структур на базе пористого кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / И. А. Шишкин ; рук. работы Н. В. Латухина ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики тверд. тела и неравновес. сист. - Самара, 2020. - on-line |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20201126114555 |
Ключевые слова: | фоточувствительные структуры пористый кремний универсальная электрохимическая ячейка COMSOL Multiphysics |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Шишкин_Иван_Александрович_Моделирование_процесса_изготовления_фоточувствительных.pdf | 19.25 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.