Отрывок: Таким образом, происходит формирование трехмерных структур - 3D-структур. 19 Плазмохимическое травление проводят в вакуумных установках и также используют плазму газового разряда. Плазмохимическое травление имеет химическую природу. Оно основано на использовании обладающих большой реакционной способностью химически активных частиц, получаемых в плазме газового разряда. Схема реактора плазмохимического травления представлена на рисунке 4. Рисунок 4 – С...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Безмельницин Д. С. | ru |
dc.contributor.author | Карпеев С. В. | ru |
dc.contributor.author | преподаватель Лизункова Д.А. с. | ru |
dc.contributor.author | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | электрохимическое травление | ru |
dc.coverage.spatial | пористый кремний | ru |
dc.coverage.spatial | оптические свойства | ru |
dc.coverage.spatial | коэффициент отражения | ru |
dc.coverage.spatial | кремниевые нанонити | ru |
dc.coverage.spatial | наноструктурированный кремний | ru |
dc.creator | Безмельницин Д. С. | ru |
dc.date.issued | 2020 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20200625132529 | ru |
dc.identifier.citation | Безмельницин, Д. С. Оптические свойства наноструктурированного кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Д. С. Безмельницин ; рук. работы С. В. Карпеев, Лизункова Д. А. ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский ун-т. - Самара, 2020. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются структуры с кремниевыми нанонитями и пористым кремнием, изготовленные при различных временах травления. Целью работы является исследование зависимости оптических свойств от геометрических параметров нанокристаллического кремния. Результаты данной дипломной работы могут быть использованы для разработки оптоэлектронных устройств на основе нанокристаллического кремния | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,3 Мб) | ru |
dc.title | Оптические свойства наноструктурированного кремния | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.33.33 | ru |
dc.subject.udc | 621.383 | ru |
dc.textpart | Таким образом, происходит формирование трехмерных структур - 3D-структур. 19 Плазмохимическое травление проводят в вакуумных установках и также используют плазму газового разряда. Плазмохимическое травление имеет химическую природу. Оно основано на использовании обладающих большой реакционной способностью химически активных частиц, получаемых в плазме газового разряда. Схема реактора плазмохимического травления представлена на рисунке 4. Рисунок 4 – С... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Безмельницин_Дмитрий_Сергеевич_Оптические_свойства_наноструктурированного_кремния.pdf | 1.34 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.