Отрывок: Химические реакции с образованием легко летучих соединений; 5. Десорбция и удаление образующихся летучих соединений через откачную систему вакуумной установки. Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 10. Рисунок 10 – Схема плазмохимического травления Основные рабочие параметры, которые определяют характеристики процесса плазменного травления: 1. ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Иванова Т. А. | ru |
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Лизункова Д. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки России | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | многопорядковые дифракционные делители | ru |
dc.coverage.spatial | фотолитография | ru |
dc.coverage.spatial | периодическая структура | ru |
dc.coverage.spatial | преобразование Фурье | ru |
dc.coverage.spatial | пучки лазера инфракрасного диапазона | ru |
dc.coverage.spatial | энергетическая эффективность | ru |
dc.coverage.spatial | генетический алгоритм | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционные оптические элементы (ДОЭ) | ru |
dc.creator | Иванова Т. А. | ru |
dc.date.issued | 2020 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20200625141443 | ru |
dc.identifier.citation | Иванова, Т. А. Оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя пучка лазера инфракрасного диапазона : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Т. А. Иванова ; рук. работы В. С. Павельев ; нормоконтролер Д. А. Лизункова ; Минобрнауки России, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский ун-т), Ин-т информа. - Самара, 2020. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются методы создания многопорядковых делителей лазерного пучка. Цель работы – оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Задачи: 1. Анализ методов расчета дифракционных оптических элементов; 2. Анализ технологий изготовления дифракционных оптических элементов инфракрасного диапазона; 3. Оптимизация и моделирование многопорядкового делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона; 4. Исследование многопорядкового делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Рассчитан и исследован методами компьютерного моделирования отражающий дифракционный делитель 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Результаты численного моделирования и исследования находятся во взаимном качественном соответствии. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,2 Мб) | ru |
dc.title | Оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя пучка лазера инфракрасного диапазона | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.33 | ru |
dc.subject.udc | 621.373.8 | ru |
dc.textpart | Химические реакции с образованием легко летучих соединений; 5. Десорбция и удаление образующихся летучих соединений через откачную систему вакуумной установки. Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 10. Рисунок 10 – Схема плазмохимического травления Основные рабочие параметры, которые определяют характеристики процесса плазменного травления: 1. ... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Иванова_Татьяна_Анатольевна_Оптимизация_исследование_многопорядкового.pdf | 1.26 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.