Отрывок: И снова подложка промывается деионизированной водой. а) б) 20 Рисунок 12 – Деионизатор воды E-POD 3) Сушка. Сушку обеспечивает нагревательная плитка, изображенная на рисунке 13, SD 160 “Stuart” и поток сжатого воздуха. Рисунок 13 – Нагревательная плитка SD 160 “Stuart” (Cole-Parmer) 21 4) Нанесение фоторезиста. На центр подложки пипеткой наносится капля фоторезиста ФП-3520, который необходимо равномерно распределить по всей поверхности подл...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Павлова О. Ю. | ru |
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Головашкин Д. Л. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | инфракрасный диапазон | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционные оптические элементы | ru |
dc.coverage.spatial | многопорядковые дифракционные решетки | ru |
dc.coverage.spatial | генетический алгоритм | ru |
dc.coverage.spatial | двумерные дифракционные решетки | ru |
dc.creator | Павлова О. Ю. | ru |
dc.date.issued | 2018 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180716141454 | ru |
dc.identifier.citation | Павлова, О. Ю. Оптимизация, изготовление и исследование двумерной дифракционной решетки инфракрасного диапазона : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / О. Ю. Павлова ; рук. работы В. С. Павельев; рец. Д. Л. Головашкин ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2018. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются методы расчета и изготовлениямногопорядковых дифракционных решеток.Цель работы - расчет, изготовление и исследование двумернойбинарной дифракционной решетки - делителя пучка 1:5.В ходе выполнения был разработан метод рас | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 2,6 Мб) | ru |
dc.title | Оптимизация, изготовление и исследование двумерной дифракционной решетки инфракрасного диапазона | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.31 | ru |
dc.subject.udc | 535.42 | ru |
dc.textpart | И снова подложка промывается деионизированной водой. а) б) 20 Рисунок 12 – Деионизатор воды E-POD 3) Сушка. Сушку обеспечивает нагревательная плитка, изображенная на рисунке 13, SD 160 “Stuart” и поток сжатого воздуха. Рисунок 13 – Нагревательная плитка SD 160 “Stuart” (Cole-Parmer) 21 4) Нанесение фоторезиста. На центр подложки пипеткой наносится капля фоторезиста ФП-3520, который необходимо равномерно распределить по всей поверхности подл... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Павлова_Ольга_Юрьевна_Оптимизация,_изготовление_исследование.pdf | 2.71 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.