Отрывок: 25 3.1.1.1 Резистивное испарение Резистивное испарение – нагрев тела до температуры испарения пропусканием через него электрического тока. Оборудование для резистивного испарения обладает низкой стоимостью, высокой безопасностью. А также возможностью нанесения плёнок металлов, полупроводников и диэлектриков. Несмотря на высокую скорость осаждения, данный метод обладает рядом недостатков, например, загрязнение подложки молекулами материала нагревателя,...
Название : | Оптимизация параметров процесса электронной литографии для получения твёрдых масок металлов |
Авторы/Редакторы : | Кондратьев И. С. Паранин В. Д. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2020 |
Библиографическое описание : | Кондратьев, И. С. Оптимизация параметров процесса электронной литографии для получения твёрдых масок металлов : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / И. С. Кондратьев ; рук. работы В. Д. Паранин ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский ун-т), Ин-т информатики. - Самара, 2020. - on-line |
Аннотация : | В выпускной квалификационной работе представлены результаты отимизизации технологического процесса изготовления бинарного маскирующего покрытия на основе тонких пленок металлов. В процессе работы были решены требуемые, для выполнения технического задания, задачи. В результате работы были получены параметры электронной литографии для экспонирования шаблона фотолитографии оптического и УФ диапозонов. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20200619155036 |
Ключевые слова: | шаблон электронная литография технологические процессы кремниевая подложка металлическая пленка твердые маски металлов жидкостное травление напыление |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Кондратьев_Илья_Сергеевич_Оптимизация_параметров_процесса_электронной.pdf | 1.51 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.