Отрывок: 2.3 Позитивный и негативный фоторезисты В позитивных фоторезистах, проэкспонированные области становятся растворимыми и после проявления разрушаются. Такие фоторезисты, как правило, позволяют получать более высокие разрешения нежели негативные, но стоят дороже. В негативных фоторезистах, проэкспонированные области полимеризуются и становятся нерастворимыми, так что после проявления растворяются только не проэкспонированные области. Н...
Название : | Расчет, изготовление и исследование фокусатора ИК-излучения в точку |
Авторы/Редакторы : | Берещук Е. С. Харитонов С. И. Саноян А. Г. Минобрнауки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Берещук, Е. С. Расчет, изготовление и исследование фокусатора ИК-излучения в точку : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень академического бакалавриата) / Е. С. Берещук ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования является фокусатор ИК излучения в точку. Цель работы− расчет, изготовление и исследование фокусатора ИК излучения в точку. В ходе выполнения лабораторной работы была рассчитана амплитудная маска для фокусатора и изготовлен фотошаблон |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808104313 |
Ключевые слова: | амплитудные маски излучение инфракрасного диапазона ФОКУСАТОРЫ фотошаблоны фотолитография дифракция света высота микрорельефа |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Берещук_Екатерина_Сергеевна_Расчет,_изготовление_исследование.pdf | 1.31 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.