Отрывок: е. М — 1 [6]. Если же применяется неравномерное травление, то, в таком случае, на каждом последующем шаге литографии субстрат подложки травится на глубину , которая равна половине предыдущей. Тогда, первому этапу будет соответствовать микрорельеф с глубиной травления ℎ𝑚𝑎𝑥/2. Величина ℎ𝑚𝑎𝑥определяется по формулам (15,16). [6] Таким образом можно отметить, что дихотомическим методом можно определить на каждом шаге как глубину травления микрорельефа, так и сам принцип синтеза ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Синицына А. К. | ru |
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Саноян А. Г. | ru |
dc.contributor.author | Минобрнауки России | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционный оптический элемент | ru |
dc.coverage.spatial | фокусатор в кольцо | ru |
dc.coverage.spatial | плазмохимическое травление | ru |
dc.coverage.spatial | ИК-диапазон | ru |
dc.coverage.spatial | квантование фазы | ru |
dc.coverage.spatial | гауссов пучок | ru |
dc.coverage.spatial | микрорельеф | ru |
dc.creator | Синицына А. К. | ru |
dc.date.issued | 2019 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808102407 | ru |
dc.identifier.citation | Синицына, А. К. Расчет, изготовление и исследование фокусатора инфракрасного излучения в кольцо : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. К. Синицына ; рук. работы В. С. Павельев ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки Рос. Федерации [России], Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики. - Самаpа, 2019. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Расчет, изготовление и исследование дифракционного оптического элемента (фокусатора), формирующего заданное распределение интенсивности света в виде кольца из освещающего гауссова пучка СО2-лазера. С помощью ПО Quick-DOE производился расчет ДОЭ, предназна | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 2,8 Мб) | ru |
dc.title | Расчет, изготовление и исследование фокусатора инфракрасного излучения в кольцо | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.31 | ru |
dc.subject.udc | 535.42 | ru |
dc.textpart | е. М — 1 [6]. Если же применяется неравномерное травление, то, в таком случае, на каждом последующем шаге литографии субстрат подложки травится на глубину , которая равна половине предыдущей. Тогда, первому этапу будет соответствовать микрорельеф с глубиной травления ℎ𝑚𝑎𝑥/2. Величина ℎ𝑚𝑎𝑥определяется по формулам (15,16). [6] Таким образом можно отметить, что дихотомическим методом можно определить на каждом шаге как глубину травления микрорельефа, так и сам принцип синтеза ... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Синицына_Анастасия_Константиновна_Расчет,_изготовление_исследование.pdf | 2.83 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.