Отрывок: е. М — 1 [6]. Если же применяется неравномерное травление, то, в таком случае, на каждом последующем шаге литографии субстрат подложки травится на глубину , которая равна половине предыдущей. Тогда, первому этапу будет соответствовать микрорельеф с глубиной травления ℎ𝑚𝑎𝑥/2. Величина ℎ𝑚𝑎𝑥определяется по формулам (15,16). [6] Таким образом можно отметить, что дихотомическим методом можно определить на каждом шаге как глубину травления микрорельефа, так и сам принцип синтеза ...
Название : | Расчет, изготовление и исследование фокусатора инфракрасного излучения в кольцо |
Авторы/Редакторы : | Синицына А. К. Павельев В. С. Саноян А. Г. Минобрнауки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Синицына, А. К. Расчет, изготовление и исследование фокусатора инфракрасного излучения в кольцо : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. К. Синицына ; рук. работы В. С. Павельев ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки Рос. Федерации [России], Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | Расчет, изготовление и исследование дифракционного оптического элемента (фокусатора), формирующего заданное распределение интенсивности света в виде кольца из освещающего гауссова пучка СО2-лазера. С помощью ПО Quick-DOE производился расчет ДОЭ, предназна |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808102407 |
Ключевые слова: | дифракционный оптический элемент фокусатор в кольцо плазмохимическое травление ИК-диапазон квантование фазы гауссов пучок микрорельеф |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Синицына_Анастасия_Константиновна_Расчет,_изготовление_исследование.pdf | 2.83 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.