Отрывок: Из выражения (18) видно, что чем больше углы � и � (угол конденсации и испарения соответственно), тем меньше толщина получаемого покрытия в данной точке [5]. 15 2 Методы устранения причин возникновения неравномерности толщины тонкопленочного покрытия 2.1 Создание источника сложной формы Помимо создания более высокой степени вакуума и уменьшения расстояния от подложки до источника, разработаны другие конструктивные решения, позволяющие снизить влияния эффекта...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Азаров А. В. | ru |
dc.contributor.author | Козлова И. Н. | ru |
dc.contributor.author | Филиппов С. Б. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | распределение толщины тонкопленочного покрытия | ru |
dc.coverage.spatial | планетарные системы перемещения подложки | ru |
dc.coverage.spatial | физико-математические модели | ru |
dc.coverage.spatial | тонкопленочные покрытия | ru |
dc.creator | Азаров А. В. | ru |
dc.date.issued | 2018 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180720130443 | ru |
dc.identifier.citation | Азаров, А. В. Разработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Азаров ; рук. работы И. Н. Козлова; рец. С. Б. Филиппов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2018. - on-line | ru |
dc.description.abstract | В данной работе рассматриваются проблемы, связанные с равномерным нанесением тонкопленочных покрытий.Цель работы – разработать математическую модель для расчета профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия в системе с перемещением подложки по планетарной траектории.Центральным моментом работы явилась математическая модель распределения тонкопленочного покрытия при напылении ее в системе с планетарным перемещением подложки.В результате анализа профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия, полученного при моделировании, установлено, что в исследуемой системе коэффициент равномерности оказался выше на 0,04, чем в системе с неподвижной подложкой.Данная работа будет интересна студентам и аспирантам, чьи направления связаны с тонкопленочными технологиями и установками для их получения. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,4 Мб) | ru |
dc.title | Разработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.33.37 | ru |
dc.subject.udc | 621.383 | ru |
dc.textpart | Из выражения (18) видно, что чем больше углы � и � (угол конденсации и испарения соответственно), тем меньше толщина получаемого покрытия в данной точке [5]. 15 2 Методы устранения причин возникновения неравномерности толщины тонкопленочного покрытия 2.1 Создание источника сложной формы Помимо создания более высокой степени вакуума и уменьшения расстояния от подложки до источника, разработаны другие конструктивные решения, позволяющие снизить влияния эффекта... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Азаров_Андрей_Владимирович_Разработка_физико_математической_модели.pdf | 1.43 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.