Отрывок: В основном в плазме тлеющего разряда подложки нагреваются из-за высокоэнергетических вторичных электронов, выходящих с мишени. В магнетронной распылительной системе вторичные электроны захватываются магнитной ловушкой и не бомбардируют подложку, что обеспечивает ее сравнительно низкую температуру. В таких системах подложки нагреваются из-за кинетической энергии и энергии конденсации осаждаемых атомов, энергии ионов, которые...
Название : | Разработка конструкции и исследование параметров тонкопленочного конденсатора |
Авторы/Редакторы : | Шунайлов П. П. Архипов А. В. Лофицкий И. В. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2018 |
Библиографическое описание : | Шунайлов, П. П. Разработка конструкции и исследование параметров тонкопленочного конденсатора : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / П. П. Шунайлов ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования является технология создания тонких пленок,предмет исследования - тонкопленочный конденсатор.Цель работы – произвести разработку конструкции и исследованиепараметров тонкопленочного конденсатора.В работе изучены методы нанесения |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718143525 |
Ключевые слова: | магнетронное напыление тонкопленочные конденсаторы технологические процессы |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Шунайлов_Павел_Павлович_Разработка_конструкции_исследование.pdf | 2.67 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.